28纳米光刻机2023年能否量产

目前未知。

28纳米光刻机应该指的是上海微电子的28纳米duv光刻机。该光刻机去年通过技术检测和验证，不过具体量产时间目前未知，上海微电子方面也没有具体订单宣布。